芯联集成获得实用新型专利授权：“一种MEMS器件及电子装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种MEMS器件及电子装置”，专利申请号为CN202420841054.X，授权日为2024年12月31日。

专利摘要：本实用新型提供了一种MEMS器件及电子装置，该MEMS器件包括：衬底；第一氧化层，位于所述衬底上；导电层，位于所述第一氧化层上；第一阻挡层，位于所述导电层上并露出所述导电层的部分表面；介质层，位于所述第一阻挡层上并露出所述第一阻挡层的部分表面和所述导电层的部分表面；第二氧化层，覆盖露出的所述第一阻挡层的表面并露出所述导电层的部分表面；金属层，覆盖露出的所述导电层的表面、所述第二氧化层以及所述介质层。本申请方案中的第一阻挡层，能够避免第二氧化层和导电层的直接接触，从而能够避免在刻蚀第二氧化层的过程中损伤到导电层，进而提高了器件性能和产品良率；同时，第一阻挡层能够增强背板结构的强度，并能够提高吹气性能。

今年以来芯联集成新获得专利授权75个，较去年同期增加了10.29%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了8.69亿元，同比增33.75%。

数据来源：天眼查APP

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