永鼎股份获得发明专利授权：“一种用于VCSEL芯片制造的湿法氧化孔径控制方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示永鼎股份（600105）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于VCSEL芯片制造的湿法氧化孔径控制方法”，专利申请号为CN202411424232.X，授权日为2024年12月27日。

专利摘要：本申请提供了一种用于VCSEL芯片制造的湿法氧化孔径控制方法，涉及孔径控制技术领域，包括：连接湿法氧化工艺设备，与气体过滤器连接，对气体介质进行过滤；获取芯片预设反应区域，确定预设孔径参数；将过滤后的气体介质输送至氧化反应室，确定工艺控制参数；根据污染物监测反馈单元对工艺控制参数进行调整，获取优化工艺控制参数；氧化反应室按照优化工艺控制参数对VCSEL芯片进行湿法氧化。通过本申请可以解决现有技术中由于湿法氧化工艺在气液介质污染控制方面存在不足，导致孔径控制精度不高的技术问题，通过气体过滤，利用污染物监测反馈单元调节氧化过程的控制参数，实现了工艺控制参数的优化，提高了孔径控制的精度。

今年以来永鼎股份新获得专利授权57个，较去年同期减少了19.72%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.1亿元，同比增10.72%。

数据来源：天眼查APP

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