永鼎股份获得发明专利授权：“基于多维检测反馈的外延前晶圆表面处理动态优化系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示永鼎股份（600105）新获得一项发明专利授权，专利名为“基于多维检测反馈的外延前晶圆表面处理动态优化系统”，专利申请号为CN202411433986.1，授权日为2024年12月27日。

专利摘要：本申请提供了基于多维检测反馈的外延前晶圆表面处理动态优化系统，涉及半导体制造技术领域，通过表面密度填充度评估单元确定晶圆外延工艺的外延层，以外延层的信息进行评估，确定外延层的表面密度填充度；表面材料信息检测单元检测待外延晶圆的表面材料信息；表面处理粒度优化单元结合表面密度填充度，根据表面处理匹配模块对表面材料信息进行映射匹配，确定待外延晶圆的表面处理粒度；表面处理执行单元调控晶圆表面处理装置按照优化后的表面处理粒度对待外延晶圆的表面进行处理。本申请解决了现有表面处理工艺通常采用静态参数设置，难以适应材料特性的微小变化，导致处理结果不稳定的技术问题，达到了提高晶圆表面处理质量和效率的技术效果。

今年以来永鼎股份新获得专利授权57个，较去年同期减少了19.72%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.1亿元，同比增10.72%。

数据来源：天眼查APP

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