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芯联集成获得实用新型专利授权:“尾气处理管路、半导体炉管设备”

来源:证券之星企业动态 2024-12-27 02:26:25
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯联集成(688469)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“尾气处理管路、半导体炉管设备”,专利申请号为CN202420436099.9,授权日为2024年12月27日。

专利摘要:本实用新型提供一种尾气处理管路、半导体炉管设备,尾气处理管路应用于半导体炉管设备,所述尾气处理管路包括:管路本体、进气口和加热件;其中,管路本体中具有气体通道,气体通道具有相对的进气端和出气端,进气端用于通入包含待处理物质的尾气;进气口设置于管路本体上且与气体通道连通,用于向气体通道内通入反应气体;加热件设置于管路本体上,用于对气体通道内的反应气体和尾气进行加热,以使反应气体和尾气中的待处理物质在处于反应温度时发生化学反应;出气端用于排出反应气体和待处理物质发生化学反应之后的气体。本申请可以避免待处理物质堵塞尾气处理管路,降低管路堵塞的风险。

今年以来芯联集成新获得专利授权74个,较去年同期增加了12.12%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了8.69亿元,同比增33.75%。

数据来源:天眼查APP

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