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龙图光罩获得实用新型专利授权:“掩膜版修补机及其校正掩膜版位置的夹具”

来源:证券之星企业动态 2024-12-27 02:25:12
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示龙图光罩(688721)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“掩膜版修补机及其校正掩膜版位置的夹具”,专利申请号为CN202421124141.X,授权日为2024年12月27日。

专利摘要:本实用新型提供一种掩膜版修补机校正掩膜版位置的夹具,夹具,包括:直线驱动机构以及两个夹持件,两个所述夹持件与所述直线驱动机构传动连接,两个所述夹持件用于夹持掩膜版,所述直线驱动机构用于安装于修补机的平台上,并使掩膜版与修补机的平台保持平行;所述直线驱动机构可输出直线运动,以驱动两个所述夹持件相互靠近或相互远离;所述夹持件上设有夹持部,相互靠近的两个所述夹持件可通过所述夹持部夹持掩膜版的相对两侧。可通过直线驱动机构驱动两个夹持件相互靠近移动的方式,使得两个夹持件夹持掩膜版,夹持的掩膜版可保持与修补机的平台处于平行的状态,以节省掩膜版校正步骤,提高修补效率。

今年以来龙图光罩新获得专利授权9个。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1070.02万元,同比增17.2%。

数据来源:天眼查APP

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