证券之星消息,根据天眼查APP数据显示菲沃泰(688371)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“镀膜装置与镀膜设备”,专利申请号为CN202323463011.7,授权日为2024年12月27日。
专利摘要:本公开的实施例提供一种镀膜装置,包括:真空腔,适于容纳放置基材的载台;联轴器,用于带动所述载台转动;旋转装置,设于所述真空腔的外部,适于带动所述联轴器转动;密封通道,适于将所述旋转装置传递转动至所述载台的通道进行密封,其一端与所述真空腔的第一壁密封连接且与所述真空腔连通,所述载台的转轴的至少一部分以及所述联轴器位于所述密封通道内。采用本公开实施例的镀膜装置,可以满足真空镀膜条件下的多样化的镀膜需求。
今年以来菲沃泰新获得专利授权17个,较去年同期减少了46.88%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4089.53万元,同比减1%。
数据来源:天眼查APP
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