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金辰股份获得实用新型专利授权:“一种电极组件及等离子增强型化学气相沉积设备”

来源:证券之星企业动态 2024-12-27 02:24:51
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示金辰股份(603396)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种电极组件及等离子增强型化学气相沉积设备”,专利申请号为CN202323330130.5,授权日为2024年12月27日。

专利摘要:本申请涉及一种电极组件及及等离子增强型化学气相淀积设备,其包括电极杆、用于固定所述电极杆的调整套、用于连接炉尾电极法兰的固定套以及调节组件;所述调整套同轴连接所述电极杆;所述固定套的轴线位置设有调整孔,所述调整套安设于所述调整孔内;所述调节组件用于调节所述调整套与所述固定套的同轴度;上述电极组件通过固定套连接于炉尾电机法兰上,并且通过调节调整套与固定套的同轴度,可调节电极杆末端所连接的电极头与石墨舟的电极孔的同轴度,确保电极组件精准插入石墨舟的电极孔,避免电极组件撞击石墨舟,避免造成电极杆弯曲变形或者电极头、石墨舟损坏。

今年以来金辰股份新获得专利授权23个,较去年同期增加了27.78%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了9651.62万元,同比增1.1%。

数据来源:天眼查APP

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