中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置及其气体喷淋环的制作方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及其气体喷淋环的制作方法”，专利申请号为CN202011118203.2，授权日为2024年12月10日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置及其气体喷淋环的制作方法，该装置包含：真空反应腔；上电极组件，位于真空反应腔顶部；下电极组件，位于真空反应腔底部，所述下电极组件和上电极组件相对设置，所述下电极组件包含一承载面，用于承载晶圆；气体喷淋环，环绕设置在下电极组件的外侧，所述气体喷淋环包含若干个气体供应孔，所述气体供应孔与一反应气体输送装置相连，用于将反应气体输送到所述真空反应腔内部，以在所述上电极组件和所述下电极组件之间产生等离子体。其优点是：该装置通过气体喷淋环实现反应气体的输送，不会因为上电极组件等的安装误差使反应气体的输送不均匀进而影响刻蚀效果，较大程度的提升了等离子体处理装置的使用稳定性。

今年以来中微公司新获得专利授权116个，较去年同期减少了22.15%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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