中微公司获得实用新型专利授权：“用于化学气相沉积设备的基座组件及化学气相沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“用于化学气相沉积设备的基座组件及化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202323513292.2，授权日为2024年12月10日。

专利摘要：一种用于化学气相沉积设备的基座组件和化学气相沉积设备，基座组件包括：气浮基座，其包括第一表面，气浮基座具有凹陷于第一表面的旋转轴底部容纳槽；若干个晶圆基座，设于第一表面上，且若干个晶圆基座沿气浮基座的周向分布，晶圆基座用于承载晶圆，晶圆基座包括第二表面，第二表面与第一表面相对设置，晶圆基座具有凹陷于第二表面的旋转轴顶部容纳槽；晶圆基座和气浮基座中的至少一个包括嵌入件，嵌入件材料的硬度大于晶圆基座和气浮基座材料的硬度；旋转轴，设于晶圆基座与气浮基座之间，其一端嵌入旋转轴底部容纳槽内，其另一端嵌入旋转轴顶部容纳槽内，旋转轴的至少一端接触嵌入件。所述基座组件有利于提高旋转轴与晶圆基座的垂直度。

今年以来中微公司新获得专利授权116个，较去年同期减少了22.15%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成，不构成投资建议。