证券之星消息,根据天眼查APP数据显示江丰电子(300666)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种用于提高靶材镀膜均匀性的圆形靶材”,专利申请号为CN202420163315.7,授权日为2024年12月24日。
专利摘要:本实用新型提供了一种用于提高靶材镀膜均匀性的圆形靶材,所述圆形靶材包括中心靶区以及沿远离径向方向依次分布的至少2个圆环靶区;中心靶区与各圆环靶区的晶粒尺寸互不相同。本实用新型通过设置中心靶区与各圆环靶区的晶粒尺寸互不相同,以此满足其在不同位置内部有不同的织构,避免了圆形靶材在溅射过程中由于不同位置磁铁强度的不同,造成溅射后期镀膜均匀性差的问题。
今年以来江丰电子新获得专利授权76个,较去年同期减少了36.13%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.02亿元,同比增30.77%。
数据来源:天眼查APP
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