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德龙激光获得实用新型专利授权:“基于空间光调制器的碳化硅晶锭激光分片装置”

来源:证券之星企业动态 2024-12-24 02:45:08
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示德龙激光(688170)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“基于空间光调制器的碳化硅晶锭激光分片装置”,专利申请号为CN202420875513.6,授权日为2024年12月24日。

专利摘要:本实用新型涉及基于空间光调制器的碳化硅晶锭激光分片装置,激光器的输出光路上依次布置有扩束镜和空间光调制器,空间光调制器的输出光路上依次设有第一透镜、第一反射镜、第二透镜以及第二反射镜,第二反射镜的反射光路上布置有物镜,物镜正对于待加工碳化硅晶锭;第一透镜焦距是第二透镜焦距的两倍。空间光调制器加载生成的圆形平顶光束和横向多焦点结合的全息相位图,聚焦在碳化硅内部生成可调间距的横向双焦点的圆形平顶光束,控制空间光调制器所加载的相位图,生成多个横向焦点,焦点间距通过相位图进行调整;利用空间光调制器光斑整形在碳化硅晶锭内部聚焦成横向双焦点,利用圆形平顶光束进行分片,对碳化硅晶锭分片加工,提升分片效率。

今年以来德龙激光新获得专利授权38个,较去年同期减少了20.83%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6599.76万元,同比增39.19%。

数据来源:天眼查APP

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