华海清科获得实用新型专利授权：“晶圆旋转机构及晶圆后处理装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆旋转机构及晶圆后处理装置”，专利申请号为CN202420922797.X，授权日为2024年12月20日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆旋转机构及晶圆清洗装置，晶圆旋转机构包括转轴、转盘和遮挡件，转轴垂直于水平面设置，且转轴能够沿着其转动轴线转动；转盘同心设置至转轴的上端，以承托晶圆；遮挡件枢转连接至转盘，以在第一位置和第二位置之间枢转，且遮挡件位于转盘上的晶圆的外周；当转轴转动时，遮挡件由第二位置枢转至第一位置，使得遮挡件的顶部高于晶圆；当转轴停转时，遮挡件位于第二位置，使得遮挡件的顶部低于晶圆。根据本申请实施例的晶圆旋转机构，具有高度能够变化且能够与转轴同步转动的遮挡件，遮挡晶圆转动甩出的废液，又避免了阻碍传输机构与晶圆之间的交互。

今年以来华海清科新获得专利授权40个，较去年同期减少了57.89%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。