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芯联集成获得实用新型专利授权:“回吸系统及半导体设备”

来源:证券之星企业动态 2024-12-18 02:25:48
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯联集成(688469)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“回吸系统及半导体设备”,专利申请号为CN202323360606.X,授权日为2024年12月3日。

专利摘要:本申请公开了一种回吸系统及半导体设备,回吸系统包括:供液管路,供液管路的进液口用于与供液装置连通,供液管路的出液口用于与待供液装置连通;通断单元,至少部分地设置于供液管路上,用于控制供液管路的通断;回吸单元,至少部分地设置于通断单元与出液口之间的供液管路上,回吸单元用于对回吸单元与出液口之间的供液管路中的液体进行回吸;延时单元,与回吸单元连接;控制器,与通断单元控制连接,且通过延时单元与回吸单元控制连接,其中,延时单元用于使来自控制器的控制信号延迟预设时间提供至回吸单元。根据本申请的回吸系统及半导体设备可以显著提升回吸效果。

今年以来芯联集成新获得专利授权72个,较去年同期增加了16.13%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了8.69亿元,同比增33.75%。

数据来源:天眼查APP

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