利元亨获得实用新型专利授权：“一种PECVD装载腔及其控制系统”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示利元亨（688499）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种PECVD装载腔及其控制系统”，专利申请号为CN202323500779.7，授权日为2024年12月17日。

专利摘要：本申请涉及PECVD设备技术领域，特别涉及一种PECVD装载腔及其控制系统。包括腔体、设置于所述腔体内的加热模块，所述腔体外侧滑动设置有用于打开或封闭所述腔体的腔室门阀，所述加热模块划分有若干个加热区域，每个所述加热区域单独设置有发热器，且每个所述加热区域设置有检测组件。当需要大气状态时，通过腔室门阀打开腔体，外部低温气体进入腔体内部，通过每个加热区域上的检测组件检测对应区域的温度，进而可以根据每个加热区域上的实际温度来单独控制发热器的发热功率，进而避免现有的加热板大面积加热导致出现温度不均的现象，降低温度波动，使得腔体内的温度快速趋于平衡。

今年以来利元亨新获得专利授权210个，较去年同期减少了55.79%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2亿元，同比减27.73%。

数据来源：天眼查APP

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