金辰股份获得实用新型专利授权：“一种温控机构及管式PECVD设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示金辰股份（603396）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种温控机构及管式PECVD设备”，专利申请号为CN202323330132.4，授权日为2024年12月17日。

专利摘要：本实用新型涉及一种温控机构及管式PECVD设备，其包括内热偶组件和辅热灯组件，所述内热偶组件包括内热偶套管，所述内热偶套管采用碳化硅材质制成，且所述内热偶套管两端的外周表面分别涂覆有绝缘涂层；所述辅热灯组件包括辅热套管，所述辅热套管两端连接至炉口法兰盒炉尾法兰；该机构通过内热偶组件和辅热灯组件，实现对管式PECVD设备内部温度监控以及控制，以满足设备镀膜稳定，并且采用碳化硅材料内热偶组件的增强了自身强度，可避免内热偶组件在高温下变形或爆裂，同时通过辅热灯支撑架对辅热灯组件支撑和分隔，可避免辅热灯组件使用过程中碰撞破裂，降低更换频率。

今年以来金辰股份新获得专利授权21个，较去年同期增加了23.53%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9651.62万元，同比增1.1%。

数据来源：天眼查APP

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