汇成真空获得发明专利授权：“一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示汇成真空（301392）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备”，专利申请号为CN202411125177.4，授权日为2024年12月13日。

专利摘要：本发明涉及磁控溅射镀铜技术领域，本发明公开了一种复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备，包括支架、镀膜辊机构和第二轴承，所述支架的内顶部固定有第一固定架和第二固定架，所述第一连接轴贯穿第一固定架和第二固定架，所述第二圆齿轮啮合连接在第一圆齿轮的顶部。该复合集流体磁控溅射镀铜镀膜辊设备，向环形进液通道通入冷却液后，冷却液顺着方形输液管道流到冷却管道内，冷却液在冷却管道与镀膜辊筒的内壁之间流动，镀膜辊筒的散热效果好，且冷却管道呈螺旋状等间距分布在冷却筒上，每个冷却管道内的冷却液温度相差不大，保证冷却效果均匀，避免出现越流到后面的冷却液温度越高而导致散热不均的问题。

今年以来汇成真空新获得专利授权3个。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1958.1万元，同比增2.41%。