高华科技获得发明专利授权：“一种MEMS压阻式加速度计及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示高华科技（688539）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS压阻式加速度计及其制备方法”，专利申请号为CN202410129504.7，授权日为2024年12月13日。

专利摘要：本公开的实施例提供一种MEMS压阻式加速度计及制备方法，加速度计包括：下基底；第一衬底，设置于下基底，第一衬底设置有贯穿其厚度的空腔；第二衬底和钝化层，第二衬底设置于第一衬底的上表面，钝化层设置于第二衬底的上表面；其中，第二衬底和钝化层对应空腔的部分共同形成敏感梁；压敏电阻，嵌设于第二衬底；压敏电阻与由第一衬底、第二衬底和支撑框构成的框架或质量块电连接；至少一个金属电极，排布于压敏电阻；引出电极，设置于钝化层，引出电极与金属电极电连接；质量块，位于空腔内，质量块设置于第二衬底的下表面；永磁体，设置于质量块；支撑框，设置于第二衬底上表面；上基底，盖置于支撑结构的上端口。

今年以来高华科技新获得专利授权19个，较去年同期增加了280%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2965.39万元，同比增58.94%。

数据来源：天眼查APP

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