证券之星消息,根据天眼查APP数据显示高华科技(688539)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种MEMS压阻式加速度计及其制备方法”,专利申请号为CN202410129504.7,授权日为2024年12月13日。
专利摘要:本公开的实施例提供一种MEMS压阻式加速度计及制备方法,加速度计包括:下基底;第一衬底,设置于下基底,第一衬底设置有贯穿其厚度的空腔;第二衬底和钝化层,第二衬底设置于第一衬底的上表面,钝化层设置于第二衬底的上表面;其中,第二衬底和钝化层对应空腔的部分共同形成敏感梁;压敏电阻,嵌设于第二衬底;压敏电阻与由第一衬底、第二衬底和支撑框构成的框架或质量块电连接;至少一个金属电极,排布于压敏电阻;引出电极,设置于钝化层,引出电极与金属电极电连接;质量块,位于空腔内,质量块设置于第二衬底的下表面;永磁体,设置于质量块;支撑框,设置于第二衬底上表面;上基底,盖置于支撑结构的上端口。
今年以来高华科技新获得专利授权19个,较去年同期增加了280%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2965.39万元,同比增58.94%。
数据来源:天眼查APP
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