汇成真空获得发明专利授权：“一种用于磁控溅射镀膜复合集流体的磁场测量系统及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示汇成真空（301392）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于磁控溅射镀膜复合集流体的磁场测量系统及方法”，专利申请号为CN202411275449.9，授权日为2024年12月13日。

专利摘要：本发明公开了一种用于磁控溅射镀膜复合集流体的磁场测量系统及方法，涉及磁场测量技术领域，该方法包括：第一金属层、第二金属层、基膜、第三金属层以及第四金属层，形成复合集流体；在镀第一金属层或第三金属层的磁控溅射过程中，通过在等离子体反应室中施加高频电场产生等离子体，使等离子体轰击靶材；其中，靶材下方第一预设位置处安装有第一磁铁；靶材下方第二预设位置处安装有第二磁铁；第一磁铁与第二磁铁用于将等离子体束缚在靶材周围；在进行测量之前，判断磁控溅射设备是否处于第一状态；在磁控溅射设备处于第一状态的情况下，基于磁场测量仪器对预设区域的磁场分布情况进行测量，得到磁场分布数据。本申请提高了溅射效率。

今年以来汇成真空新获得专利授权3个。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1958.1万元，同比增2.41%。

数据来源：天眼查APP

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