芯源微获得实用新型专利授权：“一种涂胶显影设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种涂胶显影设备”，专利申请号为CN202323663175.4，授权日为2024年12月13日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造领域，提供了一种涂胶显影设备，包括：片盒存放单元、片盒装载单元、层间机械手以及片盒机器人，所述片盒机器人包括：X轴滑轨，沿所述X轴方向设置；X轴移动部，滑动连接于所述X轴滑轨上并被配置于沿所述X轴方向移动；以及抓取片盒手指，通过旋转轴连接于所述X轴移动部并被配置于抓取所述片盒在所述X轴方向和所述Y轴方向之间旋转，本实用新型设置了片盒机器人，能够通过X轴滑轨配合X轴移动部在片盒存放单元和片盒装载单元之间移动，并传递片盒，同时，片盒机器人还能够抓取片盒后通过旋转轴旋转90度使得片盒朝向层间机械手，便于层间机械手可以直接取放片盒中的晶圆，整体结构简单，适于实用。

今年以来芯源微新获得专利授权38个，较去年同期减少了2.56%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。

数据来源：天眼查APP

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