至纯科技获得实用新型专利授权：“晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测工装”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测工装”，专利申请号为CN202420415937.4，授权日为2024年12月13日。

专利摘要：本实用新型提供一种晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测工装，包括：用于套在晶圆卡盘的卡夹上的角度盘，所述角度盘上具有套孔以及以该套孔的中心为圆心的弧形刻度，所述套孔的内径与所述卡夹的外径适配；用于旋转所述卡夹的指针，所述指针的尾端设有用于与所述卡夹可拆卸固定的固定部。本实用新型检测工装利用角度放大的原理，能够直观准确地显示用于表征内齿轮与主动齿轮之间的传动间隙的转动角度，同时，该检测工装结构简单，操作便捷、灵活，由此，在装配和使用过程中，可以准确、方便地对内齿轮与主动齿轮之间的传动间隙进行检测。

今年以来至纯科技新获得专利授权27个，较去年同期减少了30.77%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1亿元，同比增0.92%。