芯源微获得实用新型专利授权：“一种载片模块和涂胶显影设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种载片模块和涂胶显影设备”，专利申请号为CN202323670052.3，授权日为2024年11月26日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造设备领域，提供了一种载片模块和涂胶显影设备，一种载片模块，包括：架体，包括背面板和垂直于所述背面板相对设置的两个安装板，所述背面板在两个所述安装板之间设有维护通道，所述架体上还设有多个支撑架；以及载片单元，多个所述载片单元沿竖直方向设置于两个所述安装板之间，且所述载片单元能够移动至所述支撑架上，所述载片单元被配置于承载多个晶圆，本实用新型中的载片模块的多个载片单元设置在架体上，维护人员需要进行维护时，可以将载片单元移动至附近的支撑架上，然后穿过载片单元移动后空出的维护通道，进入工艺模块对其进行维护，待维护结束，再将载片单元放回至架体上即可。

今年以来芯源微新获得专利授权36个，较去年同期减少了7.69%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。

数据来源：天眼查APP

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