中微公司获得发明专利授权：“半导体零部件、等离子体处理装置及形成复合涂层的方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体零部件、等离子体处理装置及形成复合涂层的方法”，专利申请号为CN202011479293.8，授权日为2024年12月6日。

专利摘要：一种半导体零部件、等离子体处理装置及形成复合涂层的方法，其中，半导体零部件包括：零部件本体；复合涂层，位于所述零部件本体的表面，包括交叠堆放的第一耐腐蚀涂层和第二耐腐蚀涂层，所述第一耐腐蚀涂层的晶粒尺寸大于第二耐腐蚀涂层的晶粒尺寸，所述第二耐腐蚀涂层用于抑制所述第一耐腐蚀涂层的晶粒生长尺寸。所述复合涂层的最外层和与零部件本体接触的均为第一耐腐蚀涂层，所述半导体零部件能够抵御等离子体的腐蚀，还能够降低颗粒污染。

今年以来中微公司新获得专利授权103个，较去年同期减少了29.45%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。