中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置”，专利申请号为CN202011489604.9，授权日为2024年12月6日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置，包含：真空反应腔，所述真空反应腔内具有下电极组件；等离子体约束装置，其环绕设置于下电极组件的外侧；排气口，其设置于真空反应腔的底部且位于等离子体约束装置下侧，用于将真空反应腔内部的气体排出；等离子体约束装置包括第一区域和第二区域，第一区域到排气口的距离小于所述第二区域到排气口的距离；气流挡板，其设置于等离子体约束装置的下方，气流挡板上开设有气流口，气流口位于第二区域的下方。其优点是：该装置通过将等离子体约束装置、气流挡板等结构相结合，通过气流挡板增加气体行走路径，减缓了等离子体约束装置和排气口之间气体的流速，有助于实现晶圆刻蚀速率的均匀性，保证晶圆刻蚀效果。

今年以来中微公司新获得专利授权103个，较去年同期减少了29.45%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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