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卓胜微获得实用新型专利授权:“一种光刻胶供给系统”

来源:证券之星企业动态 2024-12-06 02:12:24
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示卓胜微(300782)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种光刻胶供给系统”,专利申请号为CN202323041193.9,授权日为2024年12月6日。

专利摘要:本实用新型涉及半导体制造技术领域。本实用新型提供一种光刻胶供给系统和光刻胶供给方法。光刻胶供给系统,包括:供应装置,适于承载光刻胶瓶;供应装置具有容量检测组件,适于实时检测正在供应光刻胶的光刻胶瓶的剩余容量;供应装置还具有供应信息处理组件,适于向储存装置发送剩余容量信息;储存装置,远离供应装置设置,适于存储封装有不同类型的光刻胶的光刻胶瓶;储存装置具有储存信息处理组件,适于接收供应信息处理组件发送的剩余容量信息,根据剩余容量信息提供剩余容量不足的光刻胶瓶对应的光刻胶类型的光刻胶瓶;运输装置,适于接收储存装置提供的光刻胶瓶,并运输至供应装置。本实用新型可以对容量不足的光刻胶瓶进行及时更换。

今年以来卓胜微新获得专利授权28个,较去年同期增加了27.27%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了4.93亿元,同比增94.22%。

数据来源:天眼查APP

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