微导纳米获得发明专利授权：“一种TOPCon太阳能电池及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种TOPCon太阳能电池及其制备方法”，专利申请号为CN202311334473.0，授权日为2024年12月3日。

专利摘要：本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种TOPCon太阳能电池及其制备方法。本发明通过采用PECVD+PEALD两种方式结合沉积隧穿氧化层。采用PECVD预先沉积厚度为0.1?0.5nm的薄氧化层，在后续PEALD工艺中，薄氧化层对基片表面起到一个化学钝化的作用，然后采用PEALD工艺在氧化层的基础上均匀性的沉积一层隧穿氧化层。该生长方式基础原理为原子层沉积，氧化层的均匀性好，受管内气流，温度，电场，射频的影响较小，可以避免完全由笑气电离生产隧穿氧化层出现的卡点印等电致发光测试不良，并减少等离子体的轰击对基片表面的损伤影响，一定程度上提升了TOPCon太阳能电池的转换效率。

今年以来微导纳米新获得专利授权46个，较去年同期增加了48.39%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。

数据来源：天眼查APP

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