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捷佳伟创获得发明专利授权：“镀膜设备”

来源：证券之星企业动态 2024-12-04 02:18:31

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示捷佳伟创（300724）新获得一项发明专利授权，专利名为“镀膜设备”，专利申请号为CN202011616393.0，授权日为2024年12月3日。

专利摘要：本发明公开了镀膜设备，可用于在热丝化学气相沉积法中对衬底进行镀膜，所述镀膜设备包括至少两条用于对所述衬底进行镀膜的工艺线，所述工艺线通过传输装置连接，所述工艺线当中，包括一条第一工艺线，并且，在所述第一工艺线中，作为镀膜腔仅设置有用于在所述衬底的一面镀P型掺杂硅基薄膜的第一镀膜腔。根据根据本发明的镀膜设备，由于使用一条独立的工艺线(即第一工艺线)对衬底的一面镀P型掺杂硅基薄膜，因此能够防止在对衬底的一面镀P型掺杂硅基薄膜时和其他镀膜工艺之间产生交叉污染。

今年以来捷佳伟创新获得专利授权58个，较去年同期增加了20.83%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.91亿元，同比增34.78%。

数据来源：天眼查APP

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