高华科技获得发明专利授权：“基于相位检测原理的MEMS湿度传感器及制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示高华科技（688539）新获得一项发明专利授权，专利名为“基于相位检测原理的MEMS湿度传感器及制备方法”，专利申请号为CN202110986216.X，授权日为2024年12月3日。

专利摘要：本发明提供基于相位检测原理的MEMS湿度传感器及制备方法，包括：CPW传输线，设置在衬底上，该CPW传输线包括CPW信号线以及CPW信号线两侧的CPW地线，在CPW信号线中间部位的下方衬底设置凹槽；MEMS梁，位于凹槽的底面和靠近CPW地线的两个侧面上；MEMS薄膜，位于凹槽上方，与CPW信号线的底面接触，且MEMS薄膜表面设置通孔；感湿层，位于MEMS梁和MEMS薄膜之间并填满凹槽的内部空间。利用凹槽内感湿层的吸水性来感测外部环境的湿度，感湿层的介电常数会随着湿度发生变化，引起MEMS梁与CPW信号线之间的电容改变，使CPW传输线上RF信号的相位发生变化，测量RF信号的相位便可获取环境湿度。

今年以来高华科技新获得专利授权18个，较去年同期增加了260%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2965.39万元，同比增58.94%。

数据来源：天眼查APP

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