芯联集成获得实用新型专利授权：“硅烷尾气处理装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“硅烷尾气处理装置”，专利申请号为CN202323412252.9，授权日为2024年11月29日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种硅烷尾气处理装置，包括：燃烧箱和过滤单元；所述过滤单元包括过滤通道、滤网以及抽吸装置，所述过滤通道的一端与所述燃烧箱的内腔连通，所述过滤通道的另一端与所述抽吸装置的进气端连通，所述滤网设置有多个，各所述滤网沿过滤通道的走向方向排列设置于所述过滤通道内，由靠近所述燃烧箱的一侧至靠近所述抽吸装置的一侧，各所述滤网的网孔孔径依次变小。该硅烷尾气处理装置将燃烧产生的明火限定在燃烧腔内，且通过多层滤网，能安全高效地处理硅烷尾气，减少尾气自燃产生的黄色烟雾及明火排放。

今年以来芯联集成新获得专利授权68个，较去年同期增加了11.48%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了8.69亿元，同比增33.75%。