芯源微获得发明专利授权：“一种带磁力耦合PIN的增粘单元”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种带磁力耦合PIN的增粘单元”，专利申请号为CN202110493685.8，授权日为2024年11月29日。

专利摘要：本发明属于晶圆制造设备领域，具体地说是一种带磁力耦合PIN的增粘单元。包括盘盖、盘体与贯穿盘体的PIN组件，还包括设有外磁环的外磁环固定座以及分隔管，且PIN组件上设有内磁环。设有外磁环的外磁环固定座由动力源驱动上下移动，同时通过磁力耦合作用带动设有内磁环的PIN组件上下移动。本发明通过设有外磁环的外磁环固定座、设有内磁环的PIN组件以及分隔管的配合设置，起到保证盘盖和盘体构成的工艺腔体的不与外界相通的密封作用，且密封效果不会受到PIN组件上下运动的影响而产生磨损变差，延长了增粘单元的维护时间间隔和使用寿命，运行可靠。

今年以来芯源微新获得专利授权33个，较去年同期减少了15.38%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。