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永新光学获得发明专利授权:“用于半导体缺陷检测的图像信息的获取装置及方法”

来源:证券之星企业动态 2024-11-30 02:23:14
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示永新光学(603297)新获得一项发明专利授权,专利名为“用于半导体缺陷检测的图像信息的获取装置及方法”,专利申请号为CN202211030590.3,授权日为2024年11月29日。

专利摘要:本发明公开了一种用于半导体缺陷检测的图像信息的获取装置,包括依次设置的光源、光束扩束准直模块、样品载物台、显微镜头、CCD成像探测器和控制电脑,在显微镜头与CCD成像探测器之间设置有偏振检测模块,本发明在短波红外显微成像基础上引入偏振成像,不仅能够获得缺陷的强度信息,也能够获得缺陷的偏振信息,能够提供了多至8个的图像信息,对于硅、锗、砷化镓、磷化铟等大多数不透明的半导体材料,有利于分析裂纹、翘曲、划痕、固体颗粒、金属污染、有机污染等缺陷特征,完成不同种类缺陷的快速识别判断和定位。

今年以来永新光学新获得专利授权15个,较去年同期增加了66.67%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了5568.25万元,同比增21.33%。

数据来源:天眼查APP

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