神工股份获得发明专利授权：“一种改善硅片酸腐蚀平坦度的方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示神工股份（688233）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种改善硅片酸腐蚀平坦度的方法”，专利申请号为CN202111387781.0，授权日为2024年11月29日。

专利摘要：本发明涉及一种改善硅片酸腐蚀平坦度的方法，其包括：S1、将硅片放入盛槽的滚筒中，盛槽内装有腐蚀液。按质量分数计，腐蚀液中含5?6％的氢氟酸、50?55％的硝酸、8?10％的醋酸、两性离子型表面活性剂0.3％?1.5％。腐蚀过程中，滚筒浸没在腐蚀液中且能够在盛槽内转动；硅片以站立式放置在滚筒内，利用滚筒的转动使硅片在腐蚀液中转动；滚筒同时还周期性地上下往复移动，使硅片相对盛槽内的腐蚀液进行向上的抛动动作，使硅片的边缘周期性的暴露在腐蚀液外；S2、使用QDR法对硅片清洗；S3、使用超纯水溢流冲洗硅片；S4、使用甩干方法对硅片表面脱水、干燥。本发明通过改进腐蚀液的组成并结合特定的清洗动作，改善腐蚀后硅片表面的平坦度，克服塌边情况。

今年以来神工股份新获得专利授权6个，较去年同期减少了33.33%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1231.86万元，同比减9.48%。

数据来源：天眼查APP

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