证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“法兰装置及半导体制造系统”，专利申请号为CN202111617994.8，授权日为2024年11月22日。
专利摘要：本发明揭露一种法兰装置，连接于处理腔体及传递腔体之间。所述装置包含一本体，所述本体具有一第一环形内壁及所述第一环形内壁定义的一晶圆传输通道。所述第一环形内壁由一顶面、一对侧面及一底面所界定，其中所述第一环形内壁的顶面提供有多个扩散孔，用于朝所述晶圆通道供应净化气体。此外，本发明还揭露了一种半导体制造系统。
今年以来拓荆科技新获得专利授权28个，较去年同期减少了63.64%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.14亿元，同比增49.61%。
数据来源：天眼查APP
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