证券之星消息,根据天眼查APP数据显示新莱应材(300260)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“复合CF法兰以及半导体工艺腔体”,专利申请号为CN202420873752.8,授权日为2024年11月26日。
专利摘要:本实用新型属于法兰技术领域,公开了一种复合CF法兰以及半导体工艺腔体,复合CF法兰包括第一法兰以及第二法兰,第一法兰能够焊接于基体的开口处,第一法兰的材质与基体的材质相同;第二法兰叠合于第一法兰的一侧,第二法兰与第一法兰同轴设置,第二法兰的材质为抗腐蚀金属,第二法兰与第一法兰固定连接;第二法兰背离第一法兰的表面设置有密封腔,密封腔内部设置有环刃,环刃与第二法兰同轴设置,环刃的刃口背离第一法兰设置。本实用新型的复合CF法兰,选用跟基体的材质相同的第一法兰稳定焊接于基体上,同时利用抗腐蚀金属制成的第二法兰提升复合CF法兰的耐腐蚀性能,大幅提升了复合CF法兰的工作稳定性,确保超高真空系统正常运行。
今年以来新莱应材新获得专利授权18个,较去年同期增加了100%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了5013.24万元,同比增12.45%。
数据来源:天眼查APP
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