晶合集成获得实用新型专利授权：“一种晶圆清洗机台”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆清洗机台”，专利申请号为CN202420743394.9，授权日为2024年11月26日。

专利摘要：本实用新型提出了一种晶圆清洗机台，属于半导体制造技术领域，所述晶圆清洗机台至少包括：清洗腔室；清洗台，设置在所述清洗腔室内；旋转台，设置在所述清洗台上，且允许所述旋转台旋转；可变电阻卡盘销，设置在所述旋转台上，用于放置所述晶圆；电压控制单元，设置在所述旋转台上，与所述可变电阻卡盘销连接；转速控制单元，设置在所述清洗台上，与所述旋转台连接；中控单元，设置在所述清洗台上，与所述电压控制单元和所述转速控制单元电连接；以及清洗单元，设置在所述清洗腔室外，部分所述清洗单元延伸至所述晶圆上。本实用新型提供的一种晶圆清洗机台，能有效排除晶圆在洗净制程中的静电效应。

今年以来晶合集成新获得专利授权242个，较去年同期增加了15.24%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。