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华海清科获得发明专利授权：“一种化学机械抛光方法”

来源：证券之星企业动态 2024-11-26 02:12:36

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学机械抛光方法”，专利申请号为CN202210533249.3，授权日为2024年11月22日。

专利摘要：本发明公开了一种化学机械抛光方法，其包括：化学机械抛光时，开启防护件的溢流结构，使得所述防护件的表面形成液膜；所述防护件设置于供液装置和/或修整装置的上方，以防止抛光溅落物附着于供液装置和/或修整装置而结晶。

今年以来华海清科新获得专利授权37个，较去年同期减少了59.78%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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