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容大感光获得发明专利授权:“一种负性感光性树脂组合物、其图形化的方法及其用途”

来源:证券之星企业动态 2024-11-20 02:11:16
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示容大感光(300576)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种负性感光性树脂组合物、其图形化的方法及其用途”,专利申请号为CN202211143011.6,授权日为2024年11月19日。

专利摘要:本发明涉及一种负性感光树脂组合物,其包含以下组分:(A)碱可溶树脂,其包含具有不同分子量的至少两种酚醛清漆树脂,100重量份;(B)光致产酸剂,0.1?5、优选0.5?4、更优选0.5?3.5重量份;(C)光稳定剂,0.1?20、优选0.5?10;(D)交联剂,1?45、优选2?35、更优选3?30重量份;(E)溶剂,100?600、优选110?550、更优选为120?500重量份;(F)碱性化合物,0.2?2、优选为0.3?1.8、更优选0.4?1.6重量份;和(G)任选地添加剂,0.01?20、优选为0.1?15重量份,更优选0.1?10重量份;其中组分(B)?(G)的量均基于100重量份的碱可溶树脂(A)计。还涉及使用该树脂组合物进行光刻胶图形化的方法以及负性感光性树脂组合物用于半导体制备中金属图形化的用途。该树脂组合物能够适应不同的曝光波长,并且能够通过控制曝光量进而控制光刻胶显影后的底切形貌。

今年以来容大感光新获得专利授权1个,较去年同期减少了75%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2560.09万元,同比增26.78%。

数据来源:天眼查APP

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