华海清科获得发明专利授权：“用于晶圆清洗装置的输液结构及晶圆清洗装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于晶圆清洗装置的输液结构及晶圆清洗装置”，专利申请号为CN202411186265.5，授权日为2024年11月19日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种用于晶圆清洗装置的输液结构及晶圆清洗装置，输液结构包括固定套筒和转轴，固定套筒内部具有装配腔，固定套筒的内壁具有输液管，输液管包括配合管段和装配管段；转轴的输液装配端伸入固定套筒的装配腔内，并与固定套筒之间通过轴承组件转动连接，转轴具有沿着其轴线贯通的输液通道，输液管的装配管段由输液装配端伸入输液通道内，且装配管段的外周面与输液通道的内壁之间具有第一间隙；其中，配合管段的外周面和转轴的输液装配端的端部均为台阶面，且配合管段和输液装配端之间具有台阶缝隙。根据本申请实施例的用于晶圆清洗装置的输液结构，能够避免由输液通道溢出的清洁液进入轴承组件所处的空间。

今年以来华海清科新获得专利授权36个，较去年同期减少了60%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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