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卓胜微获得实用新型专利授权：“晶圆偏移检测装置及系统”

来源：证券之星企业动态 2024-11-20 02:09:50

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示卓胜微（300782）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆偏移检测装置及系统”，专利申请号为CN202420336294.4，授权日为2024年11月19日。

专利摘要：本申请公开了一种晶圆偏移检测装置及系统，属于半导体技术领域。所述晶圆偏移检测装置包括：卡盘，包括承载面，用于承载晶圆；多个第一偏移检测传感器，均匀分布在所述卡盘的周侧，多个所述第一偏移检测传感器位于一个圆周上，且所述圆周的中心点与所述承载面的中心点重合，所述圆周的半径与所述晶圆的半径相同。本申请能够能够精确及时地检测晶圆是否发生偏移，提高晶圆的良率。

今年以来卓胜微新获得专利授权27个，较去年同期增加了35%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.93亿元，同比增94.22%。

数据来源：天眼查APP

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