华海清科获得实用新型专利授权：“电涡流传感器探头及化学机械抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“电涡流传感器探头及化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202422242120.4，授权日为2024年11月19日。

专利摘要：本申请涉及化学机械抛光技术领域，提供了一种电涡流传感器探头及化学机械抛光设备，所述电涡流传感器探头设置在化学机械抛光设备的抛光盘上，并与抛光垫接触，所述电涡流传感器探头包括：探头底座，设置有用于容纳探头本体的容纳空间；电磁屏蔽层，设置在所述探头底座上，且至少覆盖所述探头本体的测量端，用于屏蔽噪声；探头罩，固定设置在所述探头底座上，用于隔离所述电磁屏蔽层与化学机械抛光设备的抛光垫。通过在探头底座上设置至少覆盖探头本体的测量端，可以有效减少噪声对测量端的干扰，保证电涡流传感器的测量精度，并且通过设置探头罩，可以减少抛光垫的更换过程对电磁屏蔽层造成损耗，保证电磁屏蔽层的使用寿命较长。

今年以来华海清科新获得专利授权36个，较去年同期减少了60%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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