华海清科获得实用新型专利授权：“电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202422242117.2，授权日为2024年11月19日。

专利摘要：本申请提供一种电涡流终点检测装置及包括其的化学机械抛光设备。所述电涡流终点检测装置包括壳体、PCB板以及控制模块。所述PCB板封装在所述壳体中，并包括集成在其中的谐振电路，所述谐振电路包括感应线圈；所述控制模块与所述PCB板电连接，所述控制模块基于所述谐振电路中的电流信号检测朝向所述PCB板设置的晶圆的金属膜的厚度。根据本申请的技术方案，通过将感应线圈集成在PCB板中，提高了感应线圈的制造精度和集成效率，避免了传统绕线线圈制造误差较大及检测偏差较大的问题，提高了终点检测的精确性和一致性。

今年以来华海清科新获得专利授权36个，较去年同期减少了60%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。