华海清科获得发明专利授权：“晶圆液下偏转装置以及晶圆处理装置和方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆液下偏转装置以及晶圆处理装置和方法”，专利申请号为CN202010660052.7，授权日为2024年11月19日。

专利摘要：本申请公开了一种晶圆液下偏转装置以及晶圆处理装置和方法，其中控制晶圆托架以符合预定的角速度?时间曲线的方式摆动，所述角速度?时间曲线包括至少一个加速段和至少一个减速段，每一个所述加速段和减速段中的瞬时加速度绝对值小于等于200 rad/s2，优选小于等于10 rad/s2，并且所述加速段和减速段的时间长度总和为所述角速度?时间曲线的时间长度总和的50%以上。根据本发明，可以避免转动角速度发生剧烈变化，保护晶圆免受损坏，还可以有利于提高晶圆液下偏转的操作效率。

今年以来华海清科新获得专利授权36个，较去年同期减少了60%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。