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芯联集成获得实用新型专利授权:“夹爪用晶圆检测装置、晶圆夹爪及晶圆清洗装置”

来源:证券之星企业动态 2024-11-16 03:48:12
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯联集成(688469)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“夹爪用晶圆检测装置、晶圆夹爪及晶圆清洗装置”,专利申请号为CN202323447876.4,授权日为2024年11月8日。

专利摘要:本实用新型涉及半导体制造技术领域,提供了一种夹爪用晶圆检测装置、晶圆夹爪及晶圆清洗装置,其中夹爪用晶圆检测装置,包括:运动件、拉绳以及触发单元;所述运动件和所述拉绳均由防腐材质制成;所述拉绳连接于所述运动件与所述触发单元之间,所述运动件运动时用于牵引所述拉绳并拉动所述触发单元使得所述触发单元被触发。该夹爪用晶圆检测装置配备夹爪本体使用,当夹爪本体的插槽内放置有晶圆时且晶圆姿态正确时,可被晶圆检测装置检测到,从而从源头上监控夹爪内晶圆的状态,以消除潜在的风险。

今年以来芯联集成新获得专利授权66个,较去年同期增加了11.86%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了8.69亿元,同比增33.75%。

数据来源:天眼查APP

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