中微公司获得实用新型专利授权：“一种成膜设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种成膜设备”，专利申请号为CN202322816508.6，授权日为2024年11月8日。

专利摘要：本实用新型公开一种成膜设备，包括：腔体；气体供给部用于向腔体的内部通入用于生长薄膜的反应气体；载置台，设置在腔体的底部用于承载衬底；侧加热器，其靠近腔体的内侧壁设置，且位于载置台的上方，用于加热腔体内的反应气体；侧部电极引出部，其与侧加热器连接，用于向侧加热器引入电能；侧部电极引出部包括：腔体法兰，其设置在腔体的侧壁上；侧加热器导电支架，设置在腔体内；侧水冷电极，设置在腔体法兰的法兰孔中；侧水冷电极的电极端通过侧加热器导电支架与侧加热器连接，侧水冷电极的电源端与外部加热电源连接；侧水冷部件，与侧水冷电极连接，用于向侧水冷电极内引入冷却水。本实用新型能够延长电极引出部的使用寿命和提高使用安全性。

今年以来中微公司新获得专利授权100个，较去年同期减少了27.01%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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