中科飞测获得发明专利授权：“一种光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质”，专利申请号为CN202110760279.3，授权日为2024年11月15日。

专利摘要：本发明提供的光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质，通过获取检测光束通过光学元件后的光斑图像；根据光斑图像获取光斑形变的量化指标，光斑形变包括旋转、均匀性、平移和离焦中的至少一个；根据量化指标，调节光学元件的空间自由度，直至量化指标在预设阈值范围内。可见不跟发明实现了光斑形变成因的量化，并根据量化指标对光学元件进行空间自由度的调节，从而对光斑进行调节。基于此，本发明可以对光斑形变进行自动化调节，形成自动反馈，从而保证检测设备的光斑稳定性。

今年以来中科飞测新获得专利授权114个，较去年同期减少了5.79%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.07亿元，同比增114.22%。