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中微公司获得发明专利授权：“一种绝缘窗及其控制方法、及等离子体处理装置”

来源：证券之星企业动态 2024-11-16 03:45:51

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种绝缘窗及其控制方法、及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202011305453.7，授权日为2024年11月8日。

专利摘要：本发明提供了一种绝缘窗及其控制方法、及等离子体处理装置，通过在绝缘窗上设置加热装置和半导体制冷器，实现了对绝缘窗温度的均一控制，半导体制冷器可以有效降低窗中心的温度，另外，半导体制冷器可以实现加热和冷却双重功能。

今年以来中微公司新获得专利授权100个，较去年同期减少了27.01%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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