芯联集成获得实用新型专利授权：“气泡检测装置及溶剂输送系统”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“气泡检测装置及溶剂输送系统”，专利申请号为CN202420441228.3，授权日为2024年11月8日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种气泡检测装置及溶剂输送系统，气泡检测装置包括：排气容器、第一输送管路、第一阀门、气泡时长检测传感器和第一液位传感器；所述第一输送管路与所述排气容器的内腔连通；所述排气容器上设置有排气口，所述第一阀门与所述排气口连通；所述气泡时长检测传感器设置于所述第一输送管路，所述第一液位传感器设置于所述排气容器。如此配置，该检测装置一方面可以减少由于单点异常造成的报警，可以减少由于单点异常时排泡造成的光阻剂浪费，另一方面可以精确的检测溶剂存储容器是否排空，方便溶剂存储容器的及时更换。

今年以来芯联集成新获得专利授权66个，较去年同期增加了11.86%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了8.69亿元，同比增33.75%。