中科飞测获得发明专利授权：“一种物镜检测方法和相关装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种物镜检测方法和相关装置”，专利申请号为CN202411144801.5，授权日为2024年11月12日。

专利摘要：本申请公开了一种物镜检测方法和相关装置，在物镜检测系统中，在检测器和目标物镜之间的光路上设置了光学平板。向设置在物面台上的靶标入射照明光，该照明光在靶标上回产生散射光场，半球形的散射光场可以适配不同数值孔径物镜的检测，所以不需要该照明光适配目标物镜的数值孔径。光学平板将通过目标物镜的部分散射光进行反射，形成反射光，该反射光会与散射光场产生干涉，在物面台上形成干涉条纹。在此期间，通过沿目标物镜的光轴方向调整物面台以改变物距，使得检测器基于该干涉条纹得到对应不同物距下的干涉图样。干涉图样中部分图样为聚焦状态时的目标物距的数值范围，能准确的体现出目标物镜的真实像面的曲度，具有较高的检测精度。

今年以来中科飞测新获得专利授权114个，较去年同期减少了5.79%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.07亿元，同比增114.22%。

数据来源：天眼查APP

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