盛美上海获得发明专利授权：“化学液供应装置及半导体设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“化学液供应装置及半导体设备”，专利申请号为CN201911221421.6，授权日为2024年11月5日。

专利摘要：本发明提供一种化学液供应装置及半导体设备。化学液供应装置包括原液供应模块、混液模块及互连模块；原液供应模块包括多个化学液供应单元，多个化学液供应单元用于供应不同的化学液；混液模块包括混合腔体，用于将化学液进行混合；互连模块包括互连管和多个液体管路，互连管用于连通原液供应模块和混液模块的内部空间，液体管路用于连通化学液供应单元和混合腔体，液体管路的数量与化学液供应单元的数量相对应。本发明相较于传统的双套管连接方式，可以极大减少管路安装工作量及成本、提高设备稳固性。相较于现有技术，本发明的化学液供应装置及半导体设备结构更加紧凑、可减少设备占用空间，设备的稳固性大大提高，有助于提高生产安全性。

今年以来盛美上海新获得专利授权5个，较去年同期减少了44.44%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.46亿元，同比增62.56%。

数据来源：天眼查APP

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