证券之星消息,根据天眼查APP数据显示ST华微(600360)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种旋转式晶圆载片装置”,专利申请号为CN202420010498.9,授权日为2024年11月8日。
专利摘要:本实用新型涉及晶圆载片装置技术领域,具体是一种旋转式晶圆载片装置,与驱动轴和晶圆配合使用,包括:底板、支撑板、限位柱以及定位柱,底板整体呈H型结构,包括水平设置的腹板部以及自腹板部的两端向垂直腹板部的方向延伸的翼缘部,翼缘部包括不与腹板部相垂直且不与其相平行的第一端面,支撑板对应设置于翼缘部的边缘处,且支撑板的至少一端面与第一端面相重合,通过支撑板的设置,位于载片装置四角处的支撑板形成朝向载片装置中心偏置的承载区,与晶圆的形状相匹配,即承载区沿晶圆的径向向其中心延伸,提高晶圆的承载稳定性。
今年以来ST华微新获得专利授权18个,较去年同期减少了50%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6046.38万元,同比增13.15%。
数据来源:天眼查APP
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