永鼎股份获得发明专利授权：“一种GaAs刻蚀工艺的检测工艺及检测系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示永鼎股份（600105）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种GaAs刻蚀工艺的检测工艺及检测系统”，专利申请号为CN202410854311.8，授权日为2024年11月12日。

专利摘要：本发明属于刻蚀工艺监管技术领域，具体是一种GaAs刻蚀工艺的检测工艺及检测系统，其中，该检测系统包括智能控制平台、光源模块、高精度摄像模块、图像处理分析模块和显示模块；本发明通过光源模块照亮待检测的GaAs刻蚀产品的表面，高精度摄像模块捕获GaAs刻蚀产品的表面图像，图像处理分析模块通过特定的算法对图像进行精确处理和分析，显示模块对相应GaAs刻蚀产品的处理分析信息进行显示，能够满足GaAs刻蚀工艺检测的高精度和高效率要求，且能够对所有刻蚀设备和产生的所有刻蚀缺陷进行分析并准确划分，有利于管理人员合理作出相应改善措施，有效保证GaAs刻蚀的刻蚀效果，智能化和自动化水平高。

今年以来永鼎股份新获得专利授权47个，较去年同期减少了18.97%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.1亿元，同比增10.72%。

数据来源：天眼查APP

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